TEL TRACK MARK・ACT 系列對應
Hot Plate 加熱盤系列
KJT提供適用於TEL TRACK MARK系列與ACT系列的Hot Plate加熱盤, 可應用於半導體黃光微影塗佈/顯影設備。
除KJT自有開發Hot Plate新品供應外, 亦提供既有Hot Plate的維修、翻新(Refurbish)及技術支援服務, 協助客戶維持半導體製造設備穩定運轉並延長設備使用壽命。
產品應用
Hot Plate為TEL Clean Track塗佈/顯影設備的重要溫控模組之一, 可依MARK及ACT系列不同機型與製程需求進行對應。 KJT提供多種Hot Plate與Plate Unit解決方案, 支援設備維修、替換及長期運轉需求。
主要對應系列
・TEL TRACK MARK 7
・TEL TRACK MARK 8
・TEL ACT 8
・TEL ACT 12
・PHP Unit
・Plate Unit
KJT支援內容
・Hot Plate新品供應
・既有Hot Plate維修
・Refurbish翻新服務
・技術支援
・長期供應與設備延壽支援
※ 實際對應機型與規格依設備版本、Hot Plate型式及使用條件而異,詳細內容請洽KJT確認。
TEL TRACK MARK・ACT 對應 Hot Plate 產品特色
KJT Hot Plate系列針對TEL TRACK MARK與ACT系列設備應用需求開發, 兼顧溫度控制、溫度均勻性、產品可靠性及長期設備維護需求, 協助客戶維持半導體黃光微影設備穩定運轉。
01|TEL MARK・ACT系列對應
支援TEL TRACK MARK系列與ACT系列多種Hot Plate應用, 可依不同設備機型與Plate規格進行對應評估, 支援既有設備維修、替換及延壽需求。
02|高精度溫度控制
Hot Plate為塗佈/顯影設備中的重要溫控模組。 KJT產品著重高精度溫度控制, 以支援半導體製程對穩定加熱條件的需求。
03|優良的溫度均勻性
透過Hot Plate設計與溫控技術, 提供良好的Plate表面溫度均勻性, 協助設備維持穩定的製程加熱環境。
04|KJT自有開發・高品質設計
KJT提供自有開發Hot Plate產品, 以高品質與高可靠性為設計方向, 滿足半導體製造設備長期運轉及維護需求。
05|維修・Refurbish翻新服務
除新品供應外, KJT亦提供既有Hot Plate的維修與Refurbish翻新服務, 協助客戶延長原有設備與零組件的使用週期。
06|長期穩定供應支援
針對既有TEL TRACK MARK/ACT設備的長期使用需求, KJT提供新品、維修、翻新及技術支援, 協助客戶降低老舊設備零組件取得困難所造成的維護風險。
KJT Hot Plate 核心優勢
・TEL TRACK MARK / ACT系列對應
・高精度溫度控制
・優良的溫度均勻性
・KJT自有開發設計
・Hot Plate新品供應
・維修及Refurbish翻新支援
・技術支援與長期供應
※ 實際對應規格、溫控條件及適用機型將依設備版本、Hot Plate型式與使用條件而有所不同,詳細內容請洽KJT確認。
TEL TRACK MARK・ACT 對應機種
KJT Hot Plate系列支援TEL TRACK MARK系列及ACT系列多款設備, 以下為主要對應機種與部分實機照片。 實際對應可依設備型號、Hot Plate型式及Unit配置進行確認。
主要對應機種一覽
| 系列 | 對應機種・Unit |
|---|---|
| MARK Series | MARK 7・8 DHP / MARK 7・8 ADH / MARK 7・8 CPL(SMC TYPE) |
| ACT Series | ACT 8・12 HHP / ACT 8・12 LHP / ACT 12 CPL / ACT 12 HCH |
| 其他Unit | PHP Unit / Plate Unit |
MARK Series
MARK 7・MARK 8 DHP

MARK 7・MARK 8 ADH

MARK 7・MARK 8 CPL(SMC TYPE)

ACT Series
ACT 8・ACT 12 HHP

ACT 8・ACT 12 LHP

ACT 12 CPL

ACT 12 HCH

PHP Unit

Plate Unit

其他機種亦可評估
除上述TEL TRACK MARK・ACT系列外, 其他設備型號亦可依裝置型式、Hot Plate型式及Unit配置進行對應評估。 如需確認適用性,歡迎提供設備資料由KJT協助確認。
※ 掲載照片為對應機種與Unit的實例。實際對應規格將依設備型號、設備版本、Hot Plate規格、Unit配置及使用條件而有所不同,詳細內容請洽KJT。
TEL TRACK MARK・ACT Hot Plate 對應服務
針對TEL TRACK MARK系列與ACT系列設備, KJT不僅提供Hot Plate新品,也提供既有Hot Plate的維修、翻新(Refurbish)、技術支援及長期供應服務, 協助客戶延長設備使用壽命並降低老舊零組件取得困難所造成的維護風險。
01|Hot Plate 新品供應
KJT提供對應TEL TRACK MARK與ACT系列的Hot Plate新品, 可依設備型號、Hot Plate類型及Unit配置進行適用性確認與供應。
02|Hot Plate 維修服務
針對既有Hot Plate發生異常、功能劣化或無法穩定運作等狀況, KJT可依產品狀態進行檢測與維修評估, 協助恢復設備使用功能。
03|Refurbish 翻新服務
對於仍具使用價值的既有Hot Plate或相關Unit, 可依設備與零組件狀況進行Refurbish翻新評估, 以延長原設備與零組件的使用週期。
04|技術支援
可依客戶設備型號、Hot Plate型式、Unit配置及現場使用條件, 協助確認對應規格與替換方案。 其他未列出的機型亦可提供資料進行評估。
05|長期供應與設備延壽支援
針對TEL TRACK MARK與ACT系列既有設備的長期使用需求, KJT透過新品、維修、翻新及技術支援, 協助客戶持續維持設備運轉並降低零組件停產風險。
詢價・維修評估時建議提供以下資料
・設備系列與型號(MARK 7 / MARK 8 / ACT 8 / ACT 12 等)
・Hot Plate或Unit型式(DHP / ADH / CPL / HHP / LHP / HCH / PHP Unit / Plate Unit 等)
・現有產品照片
・銘牌、Part Number或型號資訊
・目前發生的故障或異常狀況
・希望新品替換、維修或Refurbish翻新
TEL TRACK MARK・ACT Hot Plate 維修或替換需求?
歡迎提供設備型號、Hot Plate型式與現況資料,
KJT將協助確認新品、維修或Refurbish翻新方案。
※ 實際對應內容與維修可行性將依設備型號、Hot Plate規格、Unit配置、產品狀態及使用條件進行評估。









