SEMICONDUCTOR INSPECTION & METROLOGY EQUIPMENT
半導體檢查・量測設備
備品零件與維修服務
KJT Japan 提供半導體檢查與量測設備的備品零件及維修相關服務，對應清單涵蓋 KLA Tencor、HITACHI、AMAT、HMI（ASML）、Nikon、Olympus 等廠牌。
目前公開列載共 37 種設備型號，包含套刻量測、晶圓粒子檢測、缺陷檢測、 膜厚量測、CD-SEM、Review SEM、電子束缺陷檢測、光學檢查顯微鏡及 FE-SEM 等設備類別。
6
對應廠牌
37
列載設備型號
備品零件・維修
服務內容
對應設備範圍
套刻量測設備 晶圓粒子檢測設備 明場・暗場缺陷檢測設備 膜厚量測設備 CD-SEM Review SEM 電子束缺陷檢測設備 光學檢查顯微鏡 FE-SEM
SUPPORTED MANUFACTURERS & MODELS
對應廠牌與機種
目前對應清單共收錄 6 家設備廠牌、37 種設備型號，涵蓋半導體檢查、缺陷檢測及量測相關設備。
KLA Tencor
20 型式Archer 100・Archer 200・Archer 300・Archer 500・SFS62XX・SFS64XX・ SP1・SP2・SP3・235X・28XX・AIT II・AIT XP・AIT UV・Puma 9000・ Puma 91XX・F5X・Spectra FX200・Aleris 8350・Spectra8660
HITACHI
7 型式S-9380・CG4000・CG4100・CG5000・S4800・S5200・S5500
AMAT
5 型式CX200・CX300・G2・G3・G5
HMI（ASML）
3 型式eP 系列・Escan315・Escan320
Nikon
1 型式OST3200
Olympus
1 型式AL3110／20／30
SUPPORTED EQUIPMENT & SERVICES
對應機種與服務內容
服務範圍涵蓋半導體檢查、缺陷檢測與量測相關設備，對應內容包括備品零件及維修服務。
備品零件
半導體檢查與量測設備相關備品零件服務
設備維修
半導體檢查與量測設備相關維修服務
| 設備類別 | 廠牌 | 對應型號 | 服務內容 |
|---|---|---|---|
| 套刻量測設備 Overlay | KLA Tencor | Archer 100・200・300・500 | 備品零件・維修 |
| 晶圓粒子檢測設備 Particle Inspection | KLA Tencor | SFS62XX・SFS64XX・SP1・SP2・SP3 | 備品零件・維修 |
| 明場缺陷檢測設備 Defect Inspection | KLA Tencor | 235X・28XX | 備品零件・維修 |
| 暗場缺陷檢測設備 Darkfield Defect Inspection | KLA Tencor | AIT II・AIT XP・AIT UV・Puma 9000・Puma 91XX | 備品零件・維修 |
| 膜厚量測設備 Film Thickness Measurement | KLA Tencor | F5X・Spectra FX200・Aleris 8350・Spectra8660 | 備品零件・維修 |
| 關鍵尺寸量測掃描式電子顯微鏡 CD-SEM | HITACHI | S-9380・CG4000・CG4100・CG5000 | 備品零件・維修 |
| 缺陷複判掃描式電子顯微鏡 Review SEM | AMAT | CX200・CX300・G2・G3・G5 | 備品零件・維修 |
| 電子束缺陷檢測設備 E-Beam Inspection | HMI（ASML） | eP 系列・Escan315・Escan320 | 備品零件・維修 |
| 光學檢查顯微鏡 Auto-Microscope | Nikon Olympus | OST3200 AL3110／20／30 | 備品零件・維修 |
| 場發射掃描式電子顯微鏡 FE-SEM | HITACHI | S4800・S5200・S5500 | 備品零件・維修 |
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半導體檢查・量測設備
備品零件・維修對應機種一覽
收錄 KLA Tencor、HITACHI、AMAT、HMI（ASML）、Nikon、Olympus 等廠牌，共 37 種設備型號。
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